开发的并行放电多电极电火花线切割机床,具有独特的三段式储丝筒,可安装三根钼丝,每根钼丝采用独立电源供电,通过自行开发的控制系统实现高精度高效率同步切割。
成果简介:
在国家自然科学基金、江苏省自然科学基金的多年支持下,开展硅、锗等半导体材料的电火花多线切割研究,提出了往复渐进式自适应进给控制方法,在轨迹重叠反向插补、多电极运丝机构设计、模糊自适应控制、多电极丝同步均衡放电控制等方面取得了技术突破,开发了专用伺服控制系统,组建了高性能电火花线切割运动控制实验平台,并成功研制了一台国内首创的并行放电多电极电火花线切割机床,取得了加工效率随电极丝数量增加而倍增的效果。拥有相关授权发明专利2项。
主要技术指标:
电极丝间距≤600 μm,并行电极丝数量≥3,总厚度偏差≤50 μm。
应用前景:
适用于太阳能或集成电路制造的硅锭等半导体材料的批量切割,具有切损小、成本低、效率高、翘曲小、绿色环保等优点,市场需求巨大。半导体材料切割成本占太阳能电池板制造成本的2/3之多,经济效益十分显著。