1、二维半导体生长、检测、转移集成化系统
本互联系统由二维半导体单晶MOCVD系统(左),型号Oxy MOCVD 200 Ultra和全自动真空转移系统(右),型号Transfer 200 Ultra两个部分组成。
二维半导体单晶MOCVD系统(左):全球首款二维半导体单晶MOCVD系统,面向MoS₂、WSe₂等高质量大面积单晶的研发与量产。配备2×金属有机源 +2×气态前驱体,精装调控源流量、温度参数,集成实时监测保障工艺稳定性。薄膜面内均匀性 >99.5%、层数可控、缺陷密度低;6英寸晶圆任意位点载流子迁移率>100 cm²V-1s-1,重复性、稳定性远超传统CVD,为下一代集成电路制造核心装备。
全自动真空转移系统(右):本系统为全球首款面向二维材料与先进半导体工艺的晶圆级全自动真空转移设备,具备完全自主知识产权。采用模块化架构,集成超高真空剥离 / 传输 /释放一体化腔体,搭配多自由度精密机械手,实现晶圆级样品在洁净真空环境下的微米级精准定位与无损转移。全过程真空环境转移,有效避免界面污染与结构破坏,攻克二维材料转移核心难题,为我国实现关键技术国产化与弯道超车提供战略支撑。
2、二维半导体单晶MOCVD mini
型号:Oxy MOCVD 50 mini
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| 二维材料(如过渡金属硫化物、石墨烯)生长工艺探索、小批量样品制备 |
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| 37.5~3.7 Torr |
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3、二维材料单晶级真空转移系统mini

4、二维半导体材料
单晶S系列:

多晶P系列:

X系列:
