南京大学谭海仁等人Nature:26.2%!(65 cm2!) 基于表面工程化氧化铟(In₂O₃)纳米晶的溶液法互连层制备高效率全钙钛矿叠层!

器件结构：

ITO/NiO/Me-4PACz/WBG PVK/EDAI2/C60/SnO2/In2O3/NBG PVK/C60/SnO2/Cu

1、ITO玻璃P1刻蚀，清洗，5 mg/mL合成的NiO纳米晶 去离子水，10 mm/s速度刮涂，N2刀压力为40 psi，间隙200 um，100℃空气中退火10 min；0.5 mg/mL Me-4PACz IPA，10 mm/s速度刮涂，空气中100°C退火10 min；

2、1.4 M Cs₀.₃₅FA₀.₆₅PbI₁.₈Br₁.₂(CsI/FAI和PbI₂/PbBr₂的摩尔比分别为35:65和40:60。(CsI + FAI)/(PbI₂ + PbBr₂)的摩尔比为1:1，添加0.5 mol% PbX2的PEAI)溶于DMF:DMSO混合溶剂，50℃搅拌过夜，0.22 um PTFE过滤后，加入THF，DMF:DMSO:THF体积比为3:1:1，300 μm间隙、5 mm s⁻¹速度刮涂，N₂刀压力为60 psi，105 °C退火20 min；

3、0.5 mg/mL EDAI2，200 um间隙刮涂，100 °C退火1 min；

4、0.2 Å s⁻¹沉积20 nm C₆₀；ALD 20 nm SnO₂；

5、2 mg mL⁻¹ In₂O₃纳米晶溶液300 μm刮涂间隙、10 mm s⁻¹速度刮涂，N₂刀压力为10 psi，空气条件下100 °C退火10 min；

6、1.4 M FA₀.₇MA₀.₃Pb₀.₅Sn₀.₅I₃(FAI/MAI和PbI₂/SnI₂的摩尔比分别为0.7:0.3和0.5:0.5。(FAI + MAI)/(PbI₂ + SnI₂)的摩尔比为1:1。在前驱体中添加HSM（相对于PbI₂+SnI₂优化为0.2 mol%）和SnF₂（相对于SnI₂为10 mol%)溶解于0.8 mL 2-Me中，添加5 mg/mL Sn粉，0.1%摩尔比DMSO，室温下搅拌0.5 h，0.22 um PTFE过滤，加入0.2 mL THF，28 mm/s刮涂，间隙300 um，N₂刀压力为60 psi，100 °C退火10 min；

7、沉积20 nm C60；ALD 15 nm SnO2；

8、P2刻蚀(宽度50 μm，能量36.4 μJ，波长532 nm，频率150 kHz，速度500 mm/s);

9、ALD 10 nm SnO2；

10、1.0 Å s⁻¹蒸镀150 nm Cu;

11、P3刻蚀(宽度40 μm，能量22 μJ，波长532 nm，频率200 kHz，速度500 mm/s).